PECVD ovnssystem
Dette produktet er et mellomstort, skyve-åpent PECVD-system. Dette PECVD-rørovnssystemet er utstyrt med en plasma RF-strømforsyning, et treveis massestrømsgassblandingssystem (med områder på 1-100 SCCM, 1-200 SCCM og 1-200 SCCM), en åpen rørovn med en diameter på 60 mm (med vakuumflens og tilkoblingspumpe), og en mekanisk rørledning.
Produktinformasjon
| Produktmodell | Glidende PECVD-rørovnssystem——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Hovedproduktparametere | Strømforsyning: 220V 50/60Hz; Merkeeffekt: 3,1 kW; Maksimal driftstemperatur: 1200°C (<0,5 t); Kontinuerlig driftstemperatur: ≤1100°C; Anbefalt oppvarmingshastighet: ≤10°C/min; Lengde for varmesone: 440mm; Termoelement: K-type |
| Hovedfunksjoner | RF-strømforsyning kan oppnå plasmaforbedring og redusere den eksperimentelle temperaturen betydelig; rask temperaturstigning og -fall kan oppnås ved å skyve ovnskroppen; belastningen til filmen kan kontrolleres av frekvensen til RF-strømforsyningen; støkiometrien kan kontrolleres ved prosessjustering; forskjellige materialer som SiOx, SiNx, SiOxNy og (a-Si:H) kan avsettes |
| Varmeelement | Jern-krom-aluminiumslegert tråd 0Cr21Al6Nb |
| Størrelse på ovnsrør | Kvartsrørdiameter valgfritt: Φ60 |
| Temperaturkontrollsystem | Inkluderer en YD858 temperaturkontroller; PID-kontroll og selvinnstillingsjustering, intelligent 50-segments programmerbar kontroll, med overtemperatur- og utbrenningsalarmfunksjoner; temperaturkontrollnøyaktighet: ±1℃ |
| Plasma RF strømforsyning | 300W RF-strømforsyning; Utgangseffekt: 0~300W justerbar; RF-frekvens: 13,56MHZ; Automatisk matching; Støynivå < 50dB; Kjølemetode: Luftkjøling; Inngangsspenning: 180~250V |
| Vakuumtettende flensgrensesnitt | Standardkonfigurasjon: et par vakuumflenser i rustfritt stål og tetningsringer i silikon med høy temperatur; utløpsflensene er treportsflenser K16, KF25 og Φ8.2; utløpsflensen kan kobles til KF25-adapteren med en belg og deretter til vakuumpumpen. |
| vakuumpumpe | Ta i bruk dobbel roterende vinge mekanisk vakuumpumpe TRP-12; vakuumgrad kan nå 10-2torr; vakuumtilkoblingstilbehør er utstyrt med KF25-klemmer og rustfri stålbelg for tilkobling av rørovn og vakuumpumpe |
| Gassforsyningssystem | Treveis massestrømsblandingssystem - GYS-3Z; Strømforsyning: 220V 50/60Hz; Måleområder: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; En mekanisk trykkmåler er installert på frontpanelet og koblet til blanderøret; Manometerområde: -0,1-0,15 MPa; Blandetankstørrelse: Φ80*120mm; Internt tilkoblingsrør er Φ6,35 |
| Ovnsstruktur | Ovnskroppen kan flyttes til venstre og høyre, og RF-strømforsyningen kan flyttes til venstre og høyre. Ovnskroppen og RF-strømforsyningen er installert på samme glideskinne og bruker samme kvartsrør. |
| Sertifiseringsstandarder og kjernekomponenter | Kjernekomponentene til hele maskinen er i samsvar med CE, UL, MET og andre sertifiseringsstandarder; kjernekomponentene inkluderer ABB elektriske komponenter, UL-sertifiserte ledninger og kabler, Omega, Yudian, Continental-instrumenter, etc. |
Kontakt oss
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. ble etablert i 2015. Det er en profesjonell bedrift som utvikler og produserer ultralette energisparende høytemperaturmaterialer, og selger eksperimentelle elektriske ovner, industrielle elektriske ovner og ikke-standard tilpassede elektriske ovner. Profesjonell PECVD ovnssystem Produsenter og PECVD ovnssystem FabrikkSelskapet følger prinsippet om "overlevelse gjennom kvalitet, utvikling gjennom omdømme" og opprettholder forretningsfilosofien om "praktisk anvendelighet, integritet og effektivitet". Vi er forpliktet til å tilby omfattende og høykvalitets utstyrsløsninger for kunder i bransjer som keramikk, metallurgi, elektronikk, glass og kjemiteknikk. Vi tilbyr også tjenester som pulverristing, keramisk sintring og høytemperatureksperimenter til universiteter, forskningsinstitutter og industri- og gruvebedrifter. Samtidig streber vi etter å fremme den strategiske utviklingen av Nengchengs lette, energisparende og miljøvennlige høytemperatur aluminafiber innen nye ovner, og streber etter å bli en internasjonalt ledende leverandør av avanserte tjenester innen høytemperaturutstyr. PECVD ovnssystem Tilpasset.
Siste nytt
-
Grunnleggende struktur av en Vakuumovn En vakuumovn er sammensatt av flere integrerte systemer designet for å fungere under kontrollerte lavtrykksforhold. Kjernestrukturen inkluderer et vakuumkammer, varmesystem, isolasjonsenhet, vakuumpumpeenhet og kontrollsystem. Hver komponent spiller en spesifikk rolle i å opprettholde et stabilt termisk og atmosfærisk miljø under varmebehandling. Vakuumkammeret er vanligvis laget av rustfritt stål eller karbonstål og designet for å tåle både ...
