PECVD rørovn
PECVD-rørovnen er et plasmagassfasedeponeringsrørovnssystem, som består av et kvartsreaksjonskammer, en radiofrekvensstrømforsyning, et flerkanals gassblandingssystem, en vakuumenhet og et reaksjonskontrollsystem. Ovnen bruker høyrent aluminiumoksydfibermateriale, og overflaten er belagt med importert høytemperatur-aluminiumoksydbelegg for å forlenge levetiden til instrumentet og forbedre oppvarmingseffektiviteten. En radiofrekvensinduksjonsenhet er installert foran den tradisjonelle kjemiske dampavsetningen for å ionisere reaksjonsgassen og generere plasma. Den høye aktiviteten til plasma akselererer reaksjonen. Den har god ensartethet og repeterbarhet, kan danne filmer over et stort område, kan danne filmer ved lave temperaturer, har utmerket trinndekning, og er lett å kontrollere sammensetningen og tykkelsen på filmen og lett å industrialisere. Det er mye brukt i veksten av tynne filmer som grafen, silisiummonoksid, silisiumnitrid, silisiumoksynitrid og amorft silisium (A-SI:H).
| Størrelse på ovnsrør (MM) | Driftstemperatur (°C) | Vakuum grad | Effekt (KW) | Spenning | Varmeelementer | Oppvarmingshastighet |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Motstandstråd | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
En ovnsforing svikter sjelden fordi ovnen nådde en umulig temperatur. Det mislykkes vanligvis fordi det ildfaste materialet ble valgt for feil blanding av varme, kjemi, belastning og termisk syklus. Symptomene er velkjente: avskalling i det varme ansiktet, åpne ledd, korroderte ankere og et skall som stille forbruker gass eller elektrisitet i flere måneder. Kort svar: velg ildfast materiale i ovnen etter feilmodus først, temperatur andre og pris tredje. Keramisk fiber...
